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高壓質(zhì)譜分析儀 HPA 220

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詳細信息

高壓質(zhì)譜分析儀 HPA 220

Pfeiffer 高壓質(zhì)譜分析儀 HPA 220
上海伯東銷售維修德國普發(fā)高壓質(zhì)譜分析儀 Pfeiffer HPA 220,可協(xié)助客戶選型并提供售后服務(wù)。質(zhì)譜分析儀新款上市,適合于所有的應(yīng)用特別是高壓應(yīng)用。

德國普發(fā)高壓質(zhì)譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 組成:
l 四級質(zhì)譜分析儀
l 手動或自動控制進樣閥門
l 分子泵 HiPace 80 和控制器 TC 110 RS
l 前級泵 MVP 020-3
l 標(biāo)準(zhǔn)真空腔體
l 全量程真空計 PKR 251
l 閥門控制單元 VCU 220
l 分子泵顯示器
l 軟體:Quadera + HPA Add-In
l 連接法蘭 DN 40 CF-F
l 電源:115 – 230 V AC, 50/60 Hz

可選的附加組件:
1.腔體加熱裝置 2.分子泵控制單元 DCU 002 3.定制軟體 4.其他全量程真空規(guī)



 




德國普發(fā)高壓質(zhì)譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 優(yōu)點:
l 此款質(zhì)譜分析儀操作組裝靈活,適用各種壓力范圍
l 簡單的系統(tǒng)集成 模組式組裝
l 高靈敏度 多路傳輸操作
l 操作直觀 提供廣泛的應(yīng)用

德國普發(fā)高壓質(zhì)譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 應(yīng)用行業(yè):
在一個壓力范圍內(nèi)(1 x 10-7到50 hPa)進行過程分析、監(jiān)控
1.真空鍍膜行業(yè) 2.半導(dǎo)體行業(yè) 3.光刻行業(yè) 4.冶金行業(yè) 5.真空爐 6.實驗研究

質(zhì)譜分析儀 技術(shù)參數(shù):

質(zhì)量數(shù)(可選)

1-100 amu

1-200 amu

1-300 amu

質(zhì)譜分析儀

QMA 220

前級泵

MVP 020-3

電源線長度(可選)

3m

10m

檢測

C-SEM/Faraday

C-SEM 小檢測極限

1X10-14 hPa

Faraday 小檢測極限

5X10-12 hPa

壓縮空氣

5-7 bar

進氣法蘭

DN 40 CF-F

工作壓力(可選)

1 hPa

8hpa

50hpa

四級桿直徑/長度

6 mm/ 100 mm

C-SEM 精度

200 A/hPa

Faraday 精度

5X10-4 A/hPa

電源

115-230 V

重量

15 kg


質(zhì)譜分析儀 尺寸圖:



質(zhì)譜分析儀 訂購選型:

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東: 羅小姐                                   臺灣伯東: 王小姐
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