一、設備結構:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圓形6寸片
3、工藝布局:滿足客戶工藝要求

4、外形:主機1臺，主機架為臥式兩管。

5、自動化程度:工控機控制系統自動控制工藝流程
6、送取片方式:手動進出舟。

二、主要技術參數:
1、加熱爐管有效口徑:滿足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作溫度范圍:上管:600~1400℃
           下管:200~500℃
3、恒溫區長度及精度:600mm，
                  上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
                  下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控機統一管理工藝
5、氣路設置:每管兩路氣體:氮氣100L/min.氬氣100L/min。均采用MFC自動控制流量大小。

青島晨立電子有限公司主要產品：高低溫擴散爐、實驗爐、共晶爐、燒結爐、加磁爐、高 精 度智能溫度控制系統和替代進口的擴散爐爐體等，同時承接各種微電子生產線，進口半導體專 用設備的翻新升級改造及各大專院校科研院所的非標研發定制工作。